Browsing by Subject моделювання процесу осадження
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2021 | Моделювання методом Монте-Карло формування плівок нітридів перехідних металів | Гончаров, О. А.; Юнда, А. М.; Колінько, І. С.; Гончарова, С. А.; Фесенко, О. В. |