Please use this identifier to cite or link to this item: http://dspace.dgma.donetsk.ua:8080/jspui/handle/DSEA/667
Title: Моделювання формування плівкових наноструктур
Authors: Гончаров, О. А.
Юнда, А. М.
Гончарова, С. А.
Фесенко, О. В.
Keywords: моделювання за методом Монте-Карло
контроль мікроструктури нанокристалічних плівок
Issue Date: 2020
Publisher: Донбаська державна машинобудівна академія
Citation: Гончаров О.А., Юнда А.М., Гончарова С.А., Фесенко О.В. Моделювання формування плівкових наноструктур // Сучасні інформаційні технології, засоби автоматизації та електропривод : матеріали ІV Всеукраїнської науково-технічної конференції / За заг. ред. О. Ф. Тарасова. – Краматорськ : ДДМА, 2020.
Abstract: В запропонованій нами моделі розглядалася кінетика зростання наноструктурованих плівок боридів та нітридів перехідних металів під час реактивного розпилення, з урахуванням впливу технологічних параметрів магнетронної розпилювальної системи.
URI: http://dspace.dgma.donetsk.ua:8080/jspui/handle/DSEA/667
ISBN: 978-966-379-936-0
Appears in Collections:Секція 02 - Моделі, методи і інформаційні технології системного аналізу та синтезу структурних, інформаційних і функціональних моделей складних об'єктів і процесів.

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Goncharov O. Fesenko O..pdf292.27 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.